说到洁净室，我们容易想到的是进入药企无尘车间前那一层一层的洁净服或是神圣静谧的手术室，亦或是科研单位里那一个小小的密闭的洁净间或受控区域，无悬浮粒子的污染。 那么，何为洁净室？洁净室又是如何分级的呢？

在内容与ISO 14644:1-2015相对应的国标《GB/T 25915.1-2010 洁净室及相关受控环境 第1部分：空气洁净度等级》中对洁净室做了详细的描述：将空气悬浮粒子控制在适当的水平，以便完成对污染敏感的活动。航空航天、微电子、制药、医疗器械、食品、医疗卫生等行业的产品和工艺受益于对悬浮污染物的控制[1]。根据粒子浓度的限值，标准中将洁净室洁净度划分为9个整数等级，每一个等级对不同粒径的粒子有最大允许浓度的要求（见表1）。

表1 洁净室及洁净区空气洁净度整数等级

在所有应用洁净技术的行业中，对洁净室等级要求最高且依赖性最大的非电子行业莫属。随着现代技术的发展，电子产品日益精密化和微型化，原来体积为几千立方厘米的电子装配件，现在已缩减到零点几立方厘米，光致抗蚀剂厚度仅0.2微米[2]，最先进的集成电路线宽也已降到130纳米……种种这些都对空气洁净度提出了更高的要求，不能有微粒进入产品造成短路或产品缺陷等。这在下表中也可以看到：如在高质量、高技术的芯片制造领域，洁净室等级达到了最高的ISO等级 1和2，粒径控制最小需要0.1微米。因此，在芯片制造领域需要监测空气洁净度的计数器具有稳定的测试能力和准确的测试结果，做好洁净室空气洁净度的监测，保证洁净室的纯净，从而实现“芯制”纯净。

表2 各类电子产品生产对空气洁净度等级的要求[3]

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参考资料：
[1] 《GB/T 25915.1-2010 洁净室及相关受控环境 第1部分：空气洁净度等级》
[2] 《空气洁净技术》
[3] 《GB 50472 - 2008 电子工业洁净厂房设计规范》